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設備
窒素発生装置、窒素タンク
仕様
最⾼使⽤温度: 対象外
有効⼨法: 対象外
雰囲気: 対象外
特徴
窒素発生装置:供給量 最大360L/min、純度99.9%(常用99.95%以上)
液体窒素タンク、ベーパーライザー:供給量 38N㎥/日 (約18500L/min)、純度99.99%以上
用途
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(代表)
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